金融界2025年4月5日消息，国家知识产权局信息显示，安徽国芯智能装备有限公司申请一项名为“一种光刻机板体定位机构”的专利，公开号CN 119758681 A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本发明公开了一种光刻机板体定位机构，涉及光刻机技术领域，包括可朝着相反方向同步移动的掩膜对接台和晶圆对接台，所述掩膜对接台、晶圆对接台通过同一驱动单元相连，且掩膜对接台、晶圆对接台上分别设有掩膜载架和晶圆载架，当驱动单元控制掩膜对接台与晶圆对接台移动对接后，所述掩膜载架位于晶圆载架的正上方。所述掩膜对接台上设有可控制掩膜载架升、降运动的辅助换料单元。本发明通过驱动单元的设置，可使得掩膜对接台、晶圆对接台同步移动，以达到快速定位上、下分布的掩膜版以及晶圆的目的。提升了掩膜对接台和晶圆对接台对接操作的精准度，降低对接误差，有效保障了光刻加工的工作质量。
天眼查资料显示，安徽国芯智能装备有限公司，成立于2019年，位于合肥市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2012万人民币，实缴资本1365.8644万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽国芯智能装备有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息7条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自金融界
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